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德國SPECK斯貝克真空泵是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉的
真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，SPECK真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
按SPECK真空泵的工作原理，SPECK真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。
隨著真空應用的發(fā)展，SPECK真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。隨著真空技術在生產(chǎn)和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種SPECK真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的SPECK真空泵都不可能適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的SPECK真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種SPECK真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。
常用SPECK真空泵包括干式螺桿SPECK真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經(jīng)濟各行業(yè)應用真空工藝過程中的主力泵種。近年來， 伴隨著我國經(jīng)濟持續(xù)高速發(fā)展，SPECK真空泵相關下游應用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在SPECK真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國SPECK真空泵行業(yè)實現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。
（1)泵總體結構型式
真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。
立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。
臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。
泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。
（2)泵的傳動方式
真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的最大缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。
特點
在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；
轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現(xiàn)較高轉速；
泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；
泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；
壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；
轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。
⑴SPECK真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇SPECK真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。
⑶SPECK真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
⑷正確地組合SPECK真空泵。由于SPECK真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的SPECK真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的SPECK真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
⑸真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
⑹正確地選擇SPECK真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2BV系列水環(huán)SPECK真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。
⑺SPECK真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油SPECK真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
⑻SPECK真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的SPECK真空泵的極限真空度至少要2mmHg，最好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數(shù)量級。
⑼SPECK真空泵的價格、運轉及維修費用。
機械安裝
⑴SPECK真空泵應安裝在地面結實堅固的場所，周圍應留有充分的余地，便于檢查、維護、保養(yǎng)。
⑵SPECK真空泵底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保SPECK真空泵運轉平穩(wěn)，振動小。
⑶SPECK真空泵與系統(tǒng)的連接管道應密封可靠，對小SPECK真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小SPECK真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于SPECK真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時應清除管道中焊渣，嚴禁焊渣進入SPECK真空泵腔。）
⑷在連接管路中，用戶可在SPECK真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查SPECK真空泵的極限壓力。
⑸按電動機標牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。
⑹SPECK真空泵通電試運轉時，須取下電機皮帶，確認SPECK真空泵轉向符合規(guī)定方向方可投入使用，以防SPECK真空泵反轉噴油。（轉向按防護罩指示方向）
⑺對于有冷卻水的SPECK真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。
⑻如SPECK真空泵口安裝電磁閥時，閥與SPECK真空泵應同時動作。
⑼當SPECK真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。
